Preliminary Estimation of Incident Ion Energy by Using Simulation Software (PEGASUS)
Hideaki Kozai, Nobuyuki Fujimura, Mitsuhiro Noguchi, Hiroshi Toyota, Yoshito Shirai, Takeshi Tanaka, Katia Vutova
Plasma base ion implantation (PBII) with self-ignited plasma generated by only pulsed voltages to the test specimen has been applied to the sterilization process. We found that the PBII process reduced the numbers of active Bacillus pumilus cells using N2 gas. As the ion energy is the most important processing parameter, a discussion about the implanted surface is presented through measurements data using the Secondary Ion Mass Spectroscopy (SIMS). In this study, we simulated the incident ion energy to a target by the simulation software (PEGASUS). We compared the measurement data of SIMS and the simulation results. We were able to confirm correlation between these two pieces of data.
Базирана на плазма йонна имплантация със самозапалваща се плазма бе приложена за процес на стерилизация. Открихме, че процеса редуцира количеството на активните Бацили пумилас, използвайки азот като плазмо-образуващ газ. Тъй като йонната енергия е най-важния параметър на процеса, обсъждането на имплантираната повърхност е представено чрез измерените данни с използване на йонна масс-спектроскопия (СИМС). В това изследване ние симулираме началната йонна енергия при мишената със симулационна програма ПЕГАСУС. Ние сравняваме измерените данни от СИМС и симулираните ресурси. Ние бяхме способни да потвърдим корелацията между тези данни.
Cite this article as:
Kozai H., Fujimura N., Noguchi H., Toyota H., Shirai Y., Tanaka T., Vutova K. Preliminary estimation of incident ion energy by using simulation software (PEGASUS). Journal – Electrotechnica & Electronica (Е+Е), Vol. 49 (5-6), 2014, pp. 334-338, ISSN: 0861-4717 (Print), 2603-5421 (Online)
