Overview of bulk acoustic wave technology and its applications
Milena Terzieva
Abstract. During the last years Bulk Acoustic Wave (BAW) devices became compelling for frequencies above 1.5GHz, and demonstrated their competitive advantages compared to Surface Acoustic Wave (SAW) devices for applications with up to 2GHz. This paper describes common types of BAW device architectures, thin-film Bulk Acoustic Resonator (FBAR) and Solidly Mounted Resonator (SMR), and their basic physical principle. Moreover, the key BAW performance parameters are introduced and comparison with Surface acoustic Wave (SAW) technology is made. An overview of the key BAW parameters and applications of BAW-FBAR are presented.
През последните години устройствата с обемни акустични резонатори (BAW) са конкурентни за честоти над 1.5GHz и показват своите основни предимства в сравнение с устройства с повърхностно-акустични вълни за приложения с честота над 2GHz. Този доклад описва основните архитектури на едно BAW устройство – тънкослойни обемни акустични резонатори (FBAR) и стабилно монтирани резонатори (SMR), и техният физически принцип на работа. Представени са основните параметри на BAW устройствата и е направено сравнение с устройствата, работещи с повърхностно-акустични вълни (SAW). Направен е преглед на основните параметри и приложения на BAW-FBAR устройствата.
Cite this article as:
Terzieva M. D. Overview of bulk acoustic wave technology and its applications. Journal – Electrotechnica & Electronica (Е+Е), Vol. 51(7-8), 2016, pp. 15 – 23, ISSN: 0861-4717 (Print), 2603-5421 (Online)
