Multi-element cylindrical electron gun systems for focusing and controlling electron beam
Mevlut Dogan
The electron gun plays an important role in atomic, molecular, plasma, thin film, lithography and surface physics. Different types of electron gun have been designed for producing different electron beam energies. Cylindrical lenses are used to control electron beams with various energy and directions in several fields. It is well known that a two/three element lens systems cannot keep the image position constant especially in small electron energies. For that reason, it is necessary to add further lens elements to the gun system.
Details of the properties several types of lens systems can be found in the literature. Although multi-element lenses are expected to be more flexible and allow controlling of many independent lens parameters. A variety of electron gun designs have been used to create well-defined electron beams with varying degrees of success and satisfaction. In this study, we could present the modeling and construction of a multi-element electron gun system for electron impact studies in intermediate energy levels.
Електронната пушка играе важна роля в атомната, молекулната, плазмената физика, физиката на тънките слоеве и литографията. Различни видове електронни пушки са били проектирани за получаване на електронни лъчи с различни енергии. Цилиндрични лещи се използват за управлението на електронни лъчи с различна енергия и направления в няколко области. Добре известно е, че система лещи с два / три елемента не може да запази позицията на образа постоянна, особено при малките електронни енергии. Поради тази причина е необходимо да се добавят допълнителни елементи на лещите към системата на пушката.
Детайли от свойствата на няколко вида системи лещи могат да бъдат намерени в литературата. Многоелементните лещи се очаква да бъдат по-гъвкави и позволяват контролирането на много независими параметри. Разнообразие от дизайни на електронни пушки са били използвани за създаване на добре дефинирани електронни лъчи с различна степен на успех и удовлетворение. В това проучване, ние може да представим моделирането и изграждане на мулти-елементна система на електронна пушка за изследвания на влиянието на електроните при междинни нива на енергия.
Cite this article as:
Dogan M. Multi-element cylindrical electron gun systems for focusing and controlling electron beam. Journal – Electrotechnica & Electronica (Е+Е), Vol. 51 (5-6), 2016, pp. 153-155, ISSN: 0861-4717 (Print), 2603-5421 (Online)
