Electron-ion-plasma equipment for surface modification of materials

Electron-ion-plasma equipment for surface modification of materials
Anton D. Teresov, Vladimir V. Shugurov, Vladimir N. Devyatkov, Nikolay N. Koval, Yuriy F. Ivanov


Cite as:

A laboratory installation designed for research in the field of surface engineering of metal and ceramic materials was developed and created. In the installation, it is possible to conduct successive processes of arc ion-plasma nitriding of the surface of metals and alloys, plasma-assisted deposition of functional layers and coatings, and electron beam treatment including surface polishing and electron beam mixing of surface layers of samples and products in a single vacuum cycle. With the help of these processes, it is possible to implement a complex approach to the formation of a surface with predetermined properties, including radically different from the properties of the substrate.


Беше разработена и изработена една лабораторна инсталация, конструирана за повърхностен инженеринг на метали и керамични материали. В инсталацията е възможно успешно провеждане на дъгово йонно-плазмено нитриране на повърхността на метали и сплави, асистирано с плазма отлагане на функционални слоеве и покрития и електронно- лъчева обработка, включително повърхностно полиране и електронно-лъчево смесване на повърхностни слоеве на образци и продукти в единен вакуумен цикъл. С тези процеси е възможно да се постигне комплексен подход към получаване на повърхности с предварително определени параметри, включително и радикално различни от тези на подложката.


Download PDF full text

Cite this article as:

Teresov A. D., Shugurov V. V., Devyatkov V. N., Koval N. N., Ivanov Yu. F. Electron-ion-plasma equipment for surface modification of materials. Journal – Electrotechnica & Electronica (E+E), Vol. 53, No. 7-8, 2018, pp. 171-176, ISSN: 0861-4717 (Print), 2603-5421 (Online)